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硅片自動(dòng)分選機(jī)

硅片自動(dòng)分選機(jī)
概述
創(chuàng)視新(MVC)系列自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)就是為了可以檢測(cè)所有產(chǎn)線上生產(chǎn)的硅晶圓以及電池片的瑕疵所設(shè)計(jì)的。不僅可以檢測(cè)5"以及6"的尺寸,而且可以檢測(cè)單晶,多晶甚至是準(zhǔn)單晶的成品。根據(jù)不同的生產(chǎn)制程,有多種檢測(cè)模塊進(jìn)行不同用途的在線檢測(cè)。
  • 硅片自動(dòng)分選機(jī)

   在眾多可以幫助光伏產(chǎn)業(yè)邁向"市電同價(jià)"的重要因素之中,光伏組件的可靠度是一 個(gè)非常重要的關(guān)鍵因素。有些光伏組件安裝初期的失效原因常常來(lái)自于在光伏電池 片階段的外觀不良,例如邊緣缺角,表層剝落,或者是鋁凸等。而這些瑕疵也就變 成光伏電池片制造商在品質(zhì)把關(guān)時(shí)候的一個(gè)非常重要的課題。因此,對(duì)于光伏模組 的品質(zhì)以及可靠度來(lái)講,硅晶圓以及電池片的瑕疵檢驗(yàn)就顯得相當(dāng)重要。

   另外由于越來(lái)越多"光電建筑一體化"的應(yīng)用以及"家用屋頂安裝"的應(yīng)用,即使是像水 痕或者臟污等那些對(duì)于可靠度沒(méi)有造成直接影響的瑕疵,對(duì)于買(mǎi)家而言也會(huì)變成是 有視覺(jué)瑕疵的次級(jí)品。
   而傳統(tǒng)上來(lái)講,所有的瑕疵都是輪班人員用目檢篩選出來(lái)的。但是由于人眼容易疲 勞且檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)不一致,所以在生產(chǎn)線上使用自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)儀器(AOI)來(lái)取代輪班人 員檢測(cè),是一個(gè)越來(lái)越受重視的外觀檢測(cè)替代方案。
   創(chuàng)視新(MVC)系列自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)就是為了可以檢測(cè)所有產(chǎn)線上生產(chǎn)的硅晶圓以及電池片的瑕疵所設(shè)計(jì)的。不僅可以檢測(cè)5"以及6"的尺寸,而且可以檢測(cè)單晶,多晶甚至是準(zhǔn)單晶的成品。根據(jù)不同的生產(chǎn)制程,有多種檢測(cè)模塊進(jìn)行不同用途的在線檢測(cè)。

   【產(chǎn)品描述】
  該系統(tǒng)可對(duì)太陽(yáng)能硅片的電性能、幾何尺寸、外觀缺陷進(jìn)行全自動(dòng)分揀,硅片生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)用此系統(tǒng),替代以往人工檢測(cè)方式,大大提高了檢測(cè)效率,充分滿足了硅片使用廠家的質(zhì)量要求,同時(shí)降低了該企業(yè)和下游企業(yè)的整體質(zhì)控成本,提高了客戶在行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。
    檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)備外觀        硅片分揀系統(tǒng)

【基本原理】
  系統(tǒng)整體采用非接觸測(cè)量方式,通過(guò)在流水線中設(shè)置五個(gè)工位,分別實(shí)現(xiàn)硅片各個(gè)參數(shù)的檢測(cè)。其中,電阻率、厚度、TTV、P/N型號(hào)、Bow/Warp采用電渦流法和電容法實(shí)現(xiàn)非接觸自動(dòng)檢測(cè);輪廓尺寸采用機(jī)器視覺(jué)技術(shù)實(shí)現(xiàn);隱裂、孔洞缺陷通過(guò)紅外視覺(jué)技術(shù)實(shí)現(xiàn);表面臟污缺陷通過(guò)機(jī)器視覺(jué)技術(shù)并輔以特殊設(shè)計(jì)光源實(shí)現(xiàn);線痕缺陷通過(guò)光針掃描技術(shù)實(shí)現(xiàn)。
    檢測(cè)示意圖

    檢測(cè)原理圖

【規(guī)格指標(biāo)】
  (1)能夠適應(yīng)三種規(guī)格單晶硅片檢測(cè)需求,包括6吋(邊長(zhǎng)125mm×125mm,對(duì)角線150mm)、6.5吋(邊長(zhǎng)125mm×125mm,對(duì)角線165mm)、8吋(邊長(zhǎng)156mm×156mm,對(duì)角線200mm);
  (2)能夠檢測(cè)硅片各種缺陷,包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP;
  (3)檢測(cè)效率:3000片/小時(shí);
  (4)進(jìn)料機(jī)構(gòu)采用物料籃(花籃)自動(dòng)進(jìn)料,物料籃必須與設(shè)備配套使用,人工將物料籃安裝到設(shè)備進(jìn)料口,安裝過(guò)程應(yīng)簡(jiǎn)單快捷;
  (5)合格標(biāo)準(zhǔn)可設(shè)定,以適應(yīng)區(qū)分不同的質(zhì)量級(jí)別;
  (6)具備硅片分選功能。一個(gè)分選模塊有6個(gè)分選工位,各工位的分選標(biāo)準(zhǔn)可以自定義,既可以將每個(gè)分選工位設(shè)置成一種缺陷的幾個(gè)等級(jí)(等級(jí)劃分由客戶自定義,但不可超過(guò)6級(jí)),也可以將每個(gè)分選工位設(shè)置成幾種不同的缺陷(設(shè)置6種缺陷)??蛻艨稍O(shè)置缺陷種類(lèi)的優(yōu)先級(jí),若硅片上具有兩種或多種缺陷時(shí)按照客戶定義的優(yōu)先級(jí)進(jìn)行分選;如果認(rèn)為6個(gè)分選工位不能滿足使用要求,則可以購(gòu)買(mǎi)多臺(tái)分選模塊;
  (7)上、下料及檢測(cè)過(guò)程中防止硅片碰傷與損壞,碎片率要求<0.1%;可以進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、統(tǒng)計(jì)、分析、查詢(xún)及圖表繪制等。配備網(wǎng)絡(luò)接口,可以進(jìn)行測(cè)量設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)聯(lián)網(wǎng)統(tǒng)一控制管理。測(cè)量結(jié)果能夠打印輸出;
  (8)設(shè)備具備安全防護(hù)功能,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)保護(hù)。配備急停裝置,發(fā)生緊急情況時(shí)可立即停止設(shè)備,防止意外傷害;
  (9)采用模塊化設(shè)計(jì),便于維護(hù)和維修。
【解決方案價(jià)值對(duì)照表】
    系統(tǒng)對(duì)比圖
 
【應(yīng)用擴(kuò)展】
    太陽(yáng)能硅片檢測(cè)系統(tǒng)解決方案經(jīng)適量修改,也可適用于太陽(yáng)能電池板、多晶硅、單晶硅檢測(cè)等。

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